PhotriX 直接蓝宝石光导管配置

单晶蓝宝石被应用于红外收集光学(也被称作是光导管),最大程度体现了我们高精度测温仪PhotriX系列非接触式IR测温仪的卓越性能。蓝宝石光导管具 有最高效率的光学性能,适用于腐蚀性化学环境,并被广泛地应用于真空加工室与反应器。

该配置提供五个不同的近红外光谱响应(880 nm, 900 nm, 1550 nm以及700-1650 nm)。测温范围为30 °C-1300 °C。

PhotriX 直接蓝宝石光导管配置
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Photrix系列是我们最为精确的测温仪,拥有行业内最好的信噪比,可测量低温,实现控制高价值工艺与研究应用的无可比拟的精确度。我们 Photrix系列的这一配置采用一根蓝宝石光杆(也就是“光导管”)作为镜头,用以收集来自目标物体的红外辐射。光导管镜头的优势在于,它可测量低温,且易于安装在真空反应器内,一般用于先进材料的沉积(生长)以及蚀刻(移除)工艺。

Photrix光导管镜头配置有5种光谱响应(波长),具有以下特点:

  • 低温测量功能(具体内容请参照以下表格)
    • 30-670 °C温度条件下光谱响应为700-1650 nm
    • 70-110 °C温度条件下光谱响应为1550 nm
    • 210-1300 °C温度条件下光谱响应为900 nm
    • 220-1300 °C温度条件下光谱响应为880 nm
  • 响应时间短,仅1毫秒
  • 精确度+/- 1.5 °C或读数的0.15%
  • 精度0.01 °C(详见技术资料TN-828)

模拟输出(用户可选4-20 mA或0-10V)、以及多通道接口模块(单个数字信号最多可使用8个传感器,串行模拟输出)可供选择。标准系统包括所有必要的电缆、电源、电脑接口软件以及存档/校正系统。

典型应用

  • 半导体
  • 铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池沉积
  • 非晶硅薄膜沉积
  • 直拉晶体生长 

资料

Configuration Options

      测温范围
      摄氏度 华氏度
配置 产品编号 光谱响应 2毫米直径光导管收集光纤  最低 最高  最低 最高
ML-GAPX-LP2-XXX 700-1650 nm 长XXX毫米 30 670 86 1238
ML-GAPX-LP2-XXX-SS-YYY 700-1650 nm 长XXX毫米,带有长YYY毫米的蓝宝石护套 30 670 86 1238
ML-GAPX-LP2-XXX-SQ-YYY 700-1650 nm 长XXX毫米,带有长YYY毫米的石英护套 30 670 86 1238
ML-AAPX/088-LP2-XXX 880 nm 长XXX毫米 220 1300 428 2372
ML-AAPX/088-LP2-XXX-SS-YYY 880 nm 长XXX毫米,带有长YYY毫米的蓝宝石护套 220 1300 428 2372
ML-AAPX/088-LP2-XXX-SQ-YYY 880 nm 长XXX毫米,带有长YYY毫米的石英护套 220 1300 428 2372
ML-AAPX/090-LP2-XXX 900 nm  长XXX毫米 210 1300 410 2372
ML-AAPX/090-LP2-XXX-SS-YYY 900 nm 长XXX毫米,带有长YYY毫米的蓝宝石护套 210 1300 410 2372
ML-AAPX/090-LP2-XXX-SQ-YYY 900 nm 长XXX毫米,带有长YYY毫米的石英护套 210 1300 410 2372
ML-GAPX/155-LP2-XXX 1550 nm 长XXX毫米 70 1100 158 2012
ML-GAPX/155-LP2-XXX-SS-YYY-Y 1550 nm 长XXX毫米,带有长YYY毫米的蓝宝石护套 70 1100 158 2012
ML-GAPX/155-LP2-XXX-SQ-YYY 1550 nm 长XXX毫米,带有长YYY毫米的石英护套 70 1100 158 2012

 

Wavelength Response
Center 880nm 900nm 1550nm 700-1650nm
FWHM 60nm 60nm 50nm N.A.
Temperature Range*
Celsius (° C) 220-1300 210-1300 70-1100 30-670
Fahrenheit (° F) 428-2372 410-2372 158-2012 86-1238
Accuracy ± 1.5° C or 0.15% of reading
Precision 0.01 C, wavelength, speed and temperature dependent. See Technical Note TN-828 for details.
Response Time User adjustable up to 1ms
Drift <0.15° C per year
Output RS-232 (standard), Modbus protocol supported, Analog Output (optional)
Electronics Ambient 10 – 60° C (50 – 140 ° F)
Weight 310 grams
Power 110/220 VAC, 50-Hz and 60-Hz (also accepts 10-30 VDC)
*See Technical Note TN-831 for additional temperature range options. Temperautre range is factory configured and calibrated.

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