IMPAC Pyrometer
IS 12-Si

Digitales High-End-Pyrometer zur berührungslosen Temperaturmessung von Siliziumwafern ab 350 °C

IMPAC Pyrometer IS 12-Si Front Back View
IMPAC Pyrometer IS 12-Si Front View
IMPAC Pyrometer IS 12-Si Back View
IMPAC Pyrometer IS 12-Si Back Display View
IMPAC Pyrometer IS 12-Si Side Left View
IMPAC Pyrometer IS 12-Si Side View

Besondere Eigenschaften

  • Zur Messung von Silizium-Wafern
  • 4 Messbereiche von 350 bis 1800°C
  • Spektralbereich: schmalbandig im nahen Infrarot, speziell zur Siliziummessung
  • 6 Festoptiken und 3 Vario-Optiken
  • Erfassungszeit 10 ms, einstellbar bis 10 s

Details

Das IS 12-Si ist eine Spezialversion des IS 12, entwickelt zur Messung der Temperatur von Siliziumwafern.

Das Pyrometer ist mit einem Schmalbandfilter im nahen Infrarot ausgestattet und damit in der Lage, das in dünnen Schichten zur Infrarotstrahlung ansonsten durchlässige Silizium zuverlässig bereits ab 350°C zu messen. In diesem spektralen Bereich ist der Emissionsgrad von Silizium mit 67% nahezu unabhängig von der Temperatur und es lässt sich eine exakte Messung durchführen.

Physikalisch bedingt ist das IS 12-Si am Messbereichsanfang empfindlich gegen Fremdlicht, mit zunehmender Messtemperatur nimmt diese Empfindlichkeit ab. Daher muss das Gerät bei Messaufgaben, die im Messbereichsanfang liegen, gegen Fremdlichteinfluss abgeschirmt werden.

Dokumentation

Technische Daten

Messung
Grundmessbereich: 

MB 13      400 to 1300 °C      

MB 9        400 to 900 °C        

MB 10      350 to 1000 °C       

MB 18      500 to 1800 °C       

Teilmess­bereich: beliebig einstellbar innerhalb des Grundmessbereichs, Mindestmessbereichsumfang 51 °C
Spektral­bereich: Schmalband im nahen Infrarotbereich , insbesondere für Messungen von Silizium
Signal­verarbeitung: Fotostrom wird sofort digitalisiert

Mess­unsicherheit: (ε=1, T90=1 s, TUmg.=23 °C)

bis 1500 °C: 0,3% vom Messwert in °C + 1 °C über 1500 °C: 0,5% vom Messwert in °C


Reaktionszeit
 

10 ms , einstellbar bis 10 s
 
Umgebungs­temperatur­abhängigkeit:

tK ≤ 0,01% vom Messwert (in °C) x dT (Gehäusetemperatur - 23 °C)

Auflösung:

0,1°C für Anzeige und digitale Schnittstelle; < 0,025 % vom Messbereichsumfang für Analogausgang

Wiederhol­barkeit: 0,1% vom Messwert in °C + 1°C
Emissionsgrad ε: 0,100 ... 1,000 in 1/1000-Schritten
Erfassungszeit t90: < 1 ms („L“-Messbereiche mit dynamischer Anpassung bei niedrigen Signalpegeln), einstellbar bis 10 s
Maximalwert­speicher:

Einfach- oder Doppelspeicher; Löscharten:

- voreingestelltes Zeitintervall

- durch externen Löschkontakt bzw. über Schnittstelle

- automatisch bei neuem Messgut

Visier­einrichtung: eingebautes parallaxenfreies Durchblickvisier; optional zusätzlich eingebautes Laser-Pilotlicht < 1 mW, λ = 630-680 nm, CDRH class II)

Hinweis: Die Kalibrierung / Justage dieses Pyrometers ist gemäß VDI/VDE 3511, Blatt 4.4 erfolgt. Für weitere Informationen siehe http://info.lumasenseinc.com/calibration-de 

Kommunikation / Schnittstelle

Analogausgang:

linear, eingeprägter Gleichstrom, 0/4…20 mA, umschaltbar, Bürde 0 ... 500 Ohm

Schnittstelle: am Gerät umschaltbar: RS232 oder RS485 adressierbar, halbduplex; Baudrate 2,4 bis 115 kBd
Anzeige: eingebaute 5-stellige LED-Anzeige, zusätzlich Funktions-LEDs
Teststrom­ausgang:

10 mA-Signal

Grenzwert­ausgänge: 2 Relais-Ausgänge (Wechsler), Schaltleistung max. 30 W (Imax: 1 A, Umax: 60 V DC)
Bedienfeld: 4 Tasten, mit Kugelschreiberspitze zu betätigen. Dadurch keine versehentliche Fehlbedienung
Parameter:

Am Gerät oder über Schnittstelle: Emissionsgrad ε, Erfassungszeit t90, Löschzeiten für Maximalwertspeicher tCL, Teilmessbereich, 0 ... 20 oder 4 ... 20 mA, Schaltpunkt für Grenzkontakte, °C / °F, Schnittstelle RS232 oder RS485, Adresse, Baudrate, Teststrom.

Zusätzlich (nur über Schnittstelle) einstellbar: Tastatursperre, Nachkalibrierung (mit Spezialsoftware)

Elektrik  
Spannungsversorgung: 24 V DC (15 ... 40 V DC) oder 24 V AC (12 ... 30 V AC), 48 ... 62 Hz
Leistungsaufnahme: max. 7 W
Isolation: Versorgung, Analogausgang und digitale Schnittstelle sind gegeneinander und gegen das Gehäuse galvanisch getrennt
Umgebung 
Betriebstemperatur: 0 to 70 °C am Gehäuse, keine kondensierenden Bedingungen
Lagertemperatur: -20 ... 70 °C
Zul. Luftfeuchtigkeit:  Keine kondensierenden Bedingungen
Schutzart: IP65 (nach DIN 40 050)
Gewicht: 2,2 kg
CE-Zeichen: Entspricht den EU-Richtlinien über elektromagnetische Verträglichkeit
IMPAC Pyrometer IS 12-Si
MB 9 Festoptik 1 a=80 mm
MB 9 Festoptik 2 a=120 mm
MB 9 Festoptik 3 a=250 mm
MB 9 Festoptik 4 a=660 mm
MB 9 Festoptik 5 a=1300 mm
MB 9 Festoptik 6 a=5600 mm
MB 10L Festoptik 2 a=120 mm
MB 10L Festoptik 3 a=250 mm
MB 10L Festoptik 4 a=660 mm
MB 10L Festoptik 5 a=1300 mm
MB 10L Festoptik 6 a=5600 mm
MB 13 Vario-Optik 1 a=275...520 mm
MB 13 Vario-Optik 2 a=385...1125 mm
MB 13 Vario-Optik 3 a=540...9000 mm
MB 18 Festoptik 1 a=80 mm
MB 18 Festoptik 2 a=120 mm
MB 18 Festoptik 3 a=250 mm
MB 18 Festoptik 4 a=660 mm
MB 18 Festoptik 5 a=1300 mm
MB 18 Festoptik 6 a=5600 mm

Darstellung optischer Strahlengang:

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