电子束检测

AE 为半导体沉积提供全面的产品组合，包括等离子电源输送、温度测量、温度控制和晶圆控制解决方案。

Advanced Energy 的高精度等离子体功率传输系统可对蚀刻应用进行精确控制，从而实现高重复性和高产量。

AE 功率产品的设计专注于优化效率和功率密度，以确保离子能量的精确控制。

在等离子蚀刻过程中，精确控制功率对于确保完美剥离晶圆表面、杜绝任何潜在缺陷至关重要。