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RF Delivery System eVerest™ and NavX™

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Unleash the Power

Forming a complete RF delivery system, the eVerest RF generator and NavX matching network propel process innovation as chips approach Angstrom scale geometries.
 

特徴

  • ±10% frequency range
  • PowerInsight by Advanced Energy IoT platform
  • Multi-level pulse tuning
  • Accelerated internal signal processing 
  • Frequency tuning

メリット

  • Ultimate control of plasma characteristics
  • Expanded access to new energy regimes
  • Increased power stability during pulsing and process transitions
  • Unprecedented RF power repeatability run-to-run

仕様

冷却: Water
出力周波数(MHz、kHz): 1 to 60 MHz
入力電圧 (V): 208, 400-480 VAC
出力レベル(kW): 3.5 to 10 kW
ラック幅: Half and Full rack
高さ(インチ): 3U
通信インターフェース: EtherCAT, Ethernet, RS-232
高度な機能: Multi-level Pulsing, arc management, CEX, MBFT
すべての仕様 仕様の崩壊

技術文書

テクニカル・ビデオ

サービス

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Code added on 30 Aug 24

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