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RF Delivery System eVerest™ and NavX™

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Unleash the Power

Forming a complete RF delivery system, the eVerest RF generator and NavX matching network propel process innovation as chips approach Angstrom scale geometries.
 

Eigenschaften

  • ±10% frequency range
  • PowerInsight by Advanced Energy IoT platform
  • Multi-level pulse tuning
  • Accelerated internal signal processing 
  • Frequency tuning

Vorteile

  • Ultimate control of plasma characteristics
  • Expanded access to new energy regimes
  • Increased power stability during pulsing and process transitions
  • Unprecedented RF power repeatability run-to-run

Spezifikationen

Kühlung: Water
Ausgangsfrequenz (MHz, kHz): 1 to 60 MHz
Eingangsspannung (V): 208, 400-480 VAC
Leistungsstufe (kW): 3.5 to 10 kW
Rack Breite: Half and Full rack
Höhe (Zoll): 3U
Kommunikationsschnittstelle: EtherCAT, Ethernet, RS-232
Erweiterte Funktionen: Multi-level Pulsing, arc management, CEX, MBFT
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Code added on 30 Aug 24

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