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Stromversorgungen

Die in unzähligen Anwendungen eingesetzten Lösungen aus dem Bereich Precision Power™ von Advanced Energy bieten ausgezeichnete Prozesskontrolle und Stabilität für eine Vielzahl von Plasmaanwendungen. Unsere modernsten Technologien zur Energieversorgung ermöglichen seit mehr als 40 Jahren Prozessinnovationen. Dabei setzen wir gemeinsam mit unseren Partnern immer wieder neue Maßstäbe.

Stromversorgungen

eVoS ME Bias Solution

  • Customized ion energy distribution maximizes concentration to process-optimal levels.
  • Independently regulated voltage and current output enhances control of bias conditions.
  • Proprietary control system enables direct manipulation of wafer bias characteristics.
  • Fast, digitized metrology provides real-time output monitoring and control.

RF Delivery System eVerest™ and NavX™

  • ±10% frequency range
  • PowerInsight by Advanced Energy IoT platform
  • Multi-level pulse tuning
  • Frequency tuning

Ausgewählte Produkte

Highlight

eVerest RF Generator

Angstrom Era Precision Power

Datenblatt

Technische Dokumentation

Titel Typ
eVerest and NavX RF Delivery System (5 MB) Broschüre
eVerest Brochure (12 MB) Broschüre
eVoS™ Family Brochure (18 MB) Broschüre
eVoS™ 非対称バイアス波形ジェネレータ (18 MB) Broschüre
NavX Matching Network Brochure (18 MB) Broschüre
PowerInsight by Advanced Energy (6 MB) Broschüre
eVoS ME Data Sheet (233 KB) Datenblatt
eVoS™ Datasheet (3 MB) Datenblatt
Forward and Reflected Power: What Does It Mean? (576 KB) Weißbuch

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Code added on 30 Aug 24

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